高速短寸測定装置 : DigInfo

643 views · Published 16 June 2008 · 1:39 · Indexed 20 September 2026

Channel: ikinamo · 2008 · Science & Technology

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DigInfo - (http://movie.diginfo.tv)
オムロンは2008年ファインテック・ジャパンにて高速短寸測定装置の展示を行いました。同製品は、LCDアレイ基板の配線やトランジスタ部の線幅、層ずれを検査する製品として開発されました。
同製品は高速測定を実現しているため、リードタイム短縮、立上げ期間短縮を可能にします。
膜厚計測機能をオプションとして付加することができ、2.5μmという微小なスポット径の膜厚測定が可能です。
線幅測定と膜厚測定の一体により、コストとフットプリントの削減効果が見込めます。

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